高精度對(duì)準(zhǔn)與轉(zhuǎn)移電動(dòng)顯微鏡二維平臺(tái)中,多方向、多角度移動(dòng)的載物臺(tái)是核心組件,以下是一些典型平臺(tái)及其載物臺(tái)的特點(diǎn):
二維顯微鏡載物臺(tái):
行程與精度:提供130×100mm或250×100mm的行程選項(xiàng),精度為5μm,重復(fù)精度小于0.5μm,最小移動(dòng)增量為50nm。
速度與驅(qū)動(dòng):采用非接觸式直線電機(jī)和光學(xué)線性編碼器,最高速度可達(dá)750mm/s,且免維護(hù)。
角度調(diào)節(jié):支持360°無(wú)限位電動(dòng)旋轉(zhuǎn),重復(fù)定位精度高,適用于需要精確角度調(diào)節(jié)的應(yīng)用。
控制與集成:內(nèi)置控制器,通過(guò)單根電纜即可供電和控制,支持μManager顯微鏡軟件集成,提供LabVIEW認(rèn)證驅(qū)動(dòng)程序和Zaber-McLabor API,便于編程控制。
顯微鏡電動(dòng)載物臺(tái):
行程與精度:行程范圍有60×55mm和120×80mm可選,最小步長(zhǎng)小于0.2μm,重復(fù)定位精度高。
穩(wěn)定性與響應(yīng)速度:具有響應(yīng)速度快、穩(wěn)定性好的特點(diǎn),適用于顯微觀察、成像、自動(dòng)化實(shí)驗(yàn)和生物操作等領(lǐng)域。
擴(kuò)展性:可選配Z軸平臺(tái),實(shí)現(xiàn)三維精準(zhǔn)定位,適用于幾乎所有常見(jiàn)的正置/倒置顯微鏡品牌。
自動(dòng)顯微鏡系列兩維載物臺(tái):
功能多樣性:雖然具體參數(shù)未詳細(xì)列出,但三英精控的產(chǎn)品線涵蓋了多種高精度位移臺(tái)和控制器,支持多方向、多角度的移動(dòng)需求。
應(yīng)用領(lǐng)域:其產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體加工、納米定位等領(lǐng)域,表明其載物臺(tái)具有高精度和靈活性。
多方向、多角度移動(dòng)載物臺(tái)的技術(shù)優(yōu)勢(shì):
高精度對(duì)準(zhǔn)與轉(zhuǎn)移:通過(guò)高精度位移臺(tái)與顯微成像聯(lián)動(dòng),實(shí)現(xiàn)二維材料層數(shù)、堆疊角度及位置的精準(zhǔn)控制。例如,支持面內(nèi)大角度旋轉(zhuǎn),重復(fù)定位精度高,適用于研究空間反演對(duì)稱性破缺及堆疊方式影響。
可視化操作與集成化設(shè)計(jì):顯微成像系統(tǒng)與電動(dòng)位移平臺(tái)聯(lián)動(dòng),支持轉(zhuǎn)移過(guò)程實(shí)時(shí)監(jiān)控。設(shè)備集成顯微鏡、位移臺(tái)、真空吸附及加熱模塊,結(jié)構(gòu)緊湊,便于在手套箱或無(wú)塵室環(huán)境中操作。
材料適應(yīng)性廣:支持干法/濕法轉(zhuǎn)移,適用于易水解吸濕材料及潔凈度要求高的異質(zhì)結(jié)制備。可選配手套箱內(nèi)使用模塊,解決水氧敏感材料(如鈣鈦礦)轉(zhuǎn)移痛點(diǎn)。
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